<< GB 500--73-2001國家標準潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 >>潔凈廠房設(shè)計規(guī)范,GB 50073-2001
1 總則
1.0.1 潔凈廠房設(shè)計必須做到技術(shù)先進、經(jīng)濟適用、安全可靠、確保質(zhì)量，并應(yīng)符合節(jié)約能源、勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護的要求。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴建和改建潔凈廠房的設(shè)計。
1.0.3 潔凈廠房設(shè)計應(yīng)為施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行創(chuàng)造必要的條件。
1.0.4 潔凈廠房設(shè)計除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的有關(guān)強制性國家標準、規(guī)范的規(guī)定。
2 術(shù)語
2.0.1 潔凈室 clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
2.0.2 潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。空間內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。
2.0.3 移動式潔凈小室 clean booth
可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性或薄膜圍檔兩類。
2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body
人員在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material
物料在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.6 粒徑 partical size
由給定的粒子尺寸測定儀響應(yīng)當量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計數(shù)、光散射儀器采用當量光學(xué)直徑。
2.0.7 懸浮粒子 airborne particles
用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子。
2.0.8 超微粒子 ultrafine particle
具有當量直徑小于0.1μm的粒子。
2.0.9 微粒子 macroparticle
具有當量直徑大于5μm的粒子。
2.0.10 粒徑分布 particle size distribution
粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。
2.0.11 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
2.0.12 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。
2.0.13 氣流流型 air pattern
對室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布進行合理設(shè)計。
2.0.14 單向流 unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。
2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional airflow
與水平面垂直的單向流。
2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional airflow
與水平面平行的單向流。
2.0.17 非單向流 non-unidirectional airflow
凡不符合單向流定義的氣流。
2.0.18 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.19 潔凈工作區(qū) clean working area
指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8～1.5m（除工藝特殊要求外）的區(qū)域。
2.0.20 空氣吹淋室 air shower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。
2.0.21 氣閘室 air lock
設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。
2.0.22傳遞窗pass box
在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開口。兩側(cè)裝有不能同時開啟的窗扇。
2.0.23 潔凈工作臺 clean bench
能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。
2.0.24 潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
2.0.25 空態(tài) as-built
設(shè)施已經(jīng)建成，所有動力接通并運行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。
2.0.26 靜態(tài) at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員。
2.0.27 動態(tài) operational
設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作。
2.0.28 檢漏試驗 leakage test
檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗。
2.0.29高效空氣過濾器 HEPA（high efficiency particulate airfilter）
在額定風(fēng)量下，對粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。
2.0.30 超高效空氣過濾器 ULPA（ultra low penetration airfilter）
在額定風(fēng)量下，對粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器。
2.0.31 純水 purity water
對電解質(zhì)雜質(zhì)含量（常以電阻率表征）和非電解質(zhì)雜質(zhì)（如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等）含量均有要求的水。
2.0.32 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment
能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.33 表面電阻 surface resistance
在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
2.0.34 體積電阻 volume resistance
在材料的相對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。
2.0.35 表面電阻率 surface resistivity
在材料表面層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商。其量綱為Ω/□。
2.0.36 體積電阻率 volume resistivity
在材料內(nèi)層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。其量綱為Ω·cm。
2.0.37 專用消防口 fire-firing access
消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。
2.0.38 自凈時間 cleanliness vecoverly characteristic
潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級的時間。
2.0.39 生物潔凈室 biological cleanroom
潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間。
2.0.40 浮游菌 airborne viable particles
潔凈室懸浮在空氣中的菌落。
2.0.41 沉降菌 colony forming unit
潔凈室降落在培養(yǎng)皿上的菌落。
3 空氣潔凈度等級
3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子潔凈度等級應(yīng)按表3.0.1確定。

3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)）應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。
3.0.3 空氣潔凈度的測試方法按附錄C要求進行。
4 總體設(shè)計
4.1 潔凈廠房位置選擇和總平面布置
4.1.1 潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟方案比較后確定:
1 應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。
2 應(yīng)遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。如不能遠離嚴重空氣污染源時，則應(yīng)位于最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。
3 應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、人流、物流不穿越或少穿越的地段。
4.1.2 對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實際測定周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動值分析比較后確定。
4.1.3 潔凈廠房與交通干道之間的距離宜大于50m。
4.1.4 潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道（可利用交通道路），如有困難，可沿廠房的兩個長邊設(shè)置消防車道。
4.1.5 潔凈廠房周圍的道路面層，應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。
4.1.6 潔凈廠房周圍應(yīng)進行綠化?？射佒膊萜海粦?yīng)種植對生產(chǎn)有害的植物，并不得妨礙消防作業(yè)。
4.2 工藝平面布置和設(shè)計綜合協(xié)調(diào)
4.2.1 工藝平面布置應(yīng)符合下列要求:
1 工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備，以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。
2 在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下，空氣潔凈度等級高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。
3 潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度等級高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)，易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。
4 應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。
5 不同空氣潔凈度等級房間之間聯(lián)系頻繁時，宜設(shè)有防止污染的措施，如緩沖間、氣閘室、傳遞窗等。
6 應(yīng)設(shè)置單獨的物料入口，物料傳遞路線應(yīng)最短，物料進入潔凈區(qū)之前必須進行清潔處理。
4.2.2 潔凈廠房的平面和空間設(shè)計，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其它輔助用房應(yīng)分區(qū)布置。同時應(yīng)考慮生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)各種技術(shù)設(shè)施的綜合協(xié)調(diào)。
4.2.3 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間，但在下列情況下應(yīng)予分隔:
1 按生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或有防火分隔要求者。
2 生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。
4.2.4 在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下，潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施（如送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等）的布置，應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。
4.3 人員凈化和物料凈化
4.3.1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化用室和設(shè)施，并應(yīng)根據(jù)需要設(shè)置生活用室和其它用室。
4.3.2 人員凈化用室和生活用室的設(shè)置應(yīng)為:
1 人員凈化用室，應(yīng)包括雨具存放、換鞋、管理、存外衣、更潔凈工作服等房間。
2 廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等其它用室，可根據(jù)需要設(shè)置。
4.3.3 人員凈化用室和生活用室的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求:
1 人員凈化用室的入口處，應(yīng)設(shè)凈鞋措施。
2 存外衣和更潔凈工作服應(yīng)分別設(shè)置。
3 外衣存衣柜應(yīng)按設(shè)計人數(shù)每人設(shè)一柜，潔凈工作服宜集中掛入帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi)。
4 盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)施。
5 空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并應(yīng)與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺。潔凈區(qū)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。
6 當為5級以上垂直單向流潔凈室時，宜設(shè)氣閘室。
7 潔凈區(qū)內(nèi)不宜設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。
4.3.4 人流路線應(yīng)符合下列要求:
1 人流路線應(yīng)避免往復(fù)交叉。
2 人員凈化用室和生活用室的布置，宜按圖4.3.4的人員凈化程序進行布置。

4.3.5 根據(jù)不同的空氣潔凈度等級和工作人員數(shù)量，潔凈廠房內(nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積應(yīng)合理確定。一般宜按潔凈區(qū)設(shè)計人數(shù)平均每人2～4m2計算。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜按低于相鄰潔凈區(qū)空氣潔凈度等級1～2級設(shè)置。
4.3.6 潔凈工作服洗滌室的空氣潔凈度等級不宜低于8級。
4.3.7 潔凈室內(nèi)設(shè)備和物料出入口，應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的性質(zhì)、形狀等特征設(shè)置物料凈化用室及其設(shè)施。物料凈化用室的布置，應(yīng)防止凈化后物料在傳遞過程中被污染。
4.4 噪聲控制
4.4.1 潔凈室內(nèi)的噪聲級（空態(tài)），非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB（A），單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dB（A）。
4.4.2 潔凈室的噪聲頻譜限制，應(yīng)采用倍頻程聲壓級；各頻帶聲壓級值不宜大于表4.4.2中的規(guī)定。

4.4.3 潔凈廠房的平、剖面設(shè)計應(yīng)考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近。
4.4.4 潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施（如隔聲間、隔聲罩等）。
4.4.5 凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過允許值時，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)除事故排風(fēng)外應(yīng)進行減噪設(shè)計。
4.4.6 凈化空調(diào)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用。
1 總風(fēng)管為6～10m/s。
2 無送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為4～6m/s。
3 有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為2～5m/s。
4.5 微振控制
4.5.1 對有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計時應(yīng)考慮:
1 在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面及頂棚連接處，應(yīng)按微振控制要求設(shè)計。
2 潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設(shè)備及其連接管道，應(yīng)采取主動隔振措施。
3 應(yīng)確定潔凈廠房內(nèi)外各類振源對潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響，以決定是否采取被動隔振措施。
4.5.2 精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動值，應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供。當生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門難以提供容許振動值時，可參照《隔振設(shè)計規(guī)范》GBJ 22執(zhí)行。
4.5.3 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動隔振設(shè)計應(yīng)具備下列條件:
1 周圍振源對其綜合影響的振動數(shù)據(jù)。
2 設(shè)備、儀器儀表的型號、規(guī)格及輪廓尺寸圖。
3 設(shè)備、儀器儀表的質(zhì)量、質(zhì)心位置及質(zhì)量慣性矩。
4 設(shè)備、儀器儀表的底座外輪廓圖、附屬裝置、管道位置及坑、溝、孔洞尺寸、地腳螺栓及預(yù)埋件位置等。
5 設(shè)備、儀器儀表的調(diào)平要求。
6 設(shè)備、儀器儀表的容許振動值。
7 所選用或設(shè)計的隔振器或隔振裝置的技術(shù)參數(shù)、外形尺寸及安裝條件。
4.5.4 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動隔振設(shè)計應(yīng)考慮:
1 隔振臺座的剛度。
2 設(shè)備、儀器儀表運行時，由于質(zhì)量及質(zhì)心位置的變化引起隔振臺座傾斜的校正措施。
3 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0.15。
4 隔振措施不應(yīng)影響潔凈室內(nèi)的氣流流型。
4.5.5 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動隔振措施宜采用能自動校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對供應(yīng)空氣彈簧用的氣源應(yīng)進行凈化處理。
5 建筑
5.1 一般規(guī)定
5.1.1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當?shù)撵`活性。主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。
5.1.2 潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。
5.1.3 潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。
5.1.4 送、回風(fēng)管和其它管線暗敷時，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設(shè)置技術(shù)豎井，其形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)道、管線的安裝、檢修和防火要求。
5.1.5 對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，其平面布局和構(gòu)造處理，應(yīng)避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產(chǎn)帶來不利的影響。
5.2 防火和疏散
5.2.1 潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級。
5.2.2 潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性，應(yīng)按照現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（GBJ 16）分類。潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性分類舉例見附錄A。
5.2.3 甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房宜為單層，其防火分區(qū)最大允許建筑面積，單層廠房宜為3000m2，多層廠房宜為2000m2。丙、丁、戊類生產(chǎn)的潔凈廠房其防火分區(qū)最大允許建筑面積應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（GBJ 16）的規(guī)定。
5.2.4 潔凈室的頂棚和壁板（包括夾芯材料）應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機復(fù)合材料。頂棚的耐火極限不應(yīng)低于0.4h，疏散走道頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1.0h。
5.2.5 在一個防火分區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。隔墻及其相應(yīng)頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1h，隔墻上的門窗耐火極限不應(yīng)低于0.6h。穿隔墻或頂棚的管線周圍空隙應(yīng)采用防火或耐火材料緊密填堵。
5.2.6 技術(shù)豎井井壁應(yīng)為不燃燒體，其耐火極限不應(yīng)低于1h。井壁上檢查門的耐火極限不應(yīng)低于0.6h；豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng)采用相當于樓板耐火極限的不燃燒體作水平防火分隔；穿過水平防火分隔的管線周圍空隙，應(yīng)采用防火或耐火材料緊密填堵。
5.2.7 潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口數(shù)目不應(yīng)少于2個，但符合下列要求的可設(shè)1個:
1 對甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的潔凈區(qū)總建筑面積不超過50m2，且同一時間內(nèi)的生產(chǎn)人數(shù)不超過5人。
2 對丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房，應(yīng)按現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（GBJ 16）的規(guī)定設(shè)置。
5.2.8 安全出口應(yīng)當分散布置，從生產(chǎn)地點至安全出口不應(yīng)經(jīng)過曲折的人員凈化路線，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標志，安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（GBJ 16）的規(guī)定。
5.2.9 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟，并加閉門器。安全疏散門不應(yīng)采用吊門、轉(zhuǎn)門、側(cè)拉門、卷簾門以及電控自動門。
5.2.10 潔凈廠房與潔凈區(qū)同層外墻應(yīng)設(shè)可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗，其洞口間距大于80m時，應(yīng)在該段外墻的適當部位設(shè)置專用消防口。
專用消防口的寬度應(yīng)不小于750mm，高度應(yīng)不小于1800mm，并應(yīng)有明顯標志。樓層的專用消防口應(yīng)設(shè)置陽臺，并從二層開始向上層架設(shè)鋼梯。
5.2.11 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及寬度小于750mm、高度小于1800mm或裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為火災(zāi)發(fā)生時提供消防人員進入廠房的入口。
5.3 室內(nèi)裝修
5.3.1 潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。
5.3.2 潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求:
1 潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵，并應(yīng)減少凹凸面。
2 踢腳不應(yīng)突出墻面。
3 潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當必須采用時宜干燥作業(yè)，抹灰應(yīng)采用高級抹灰標準。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層，并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。
5.3.3 潔凈室地面設(shè)計應(yīng)符合下列要求:
1 潔凈室地面應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。
2 潔凈室地面應(yīng)平整，耐磨、易清洗，不易積聚靜電，避免眩光，不開裂等。
3 地面墊層宜配筋，潮濕地區(qū)墊層應(yīng)做防潮構(gòu)造。
5.3.4 潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚表面應(yīng)平整、光滑，位于地下的技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。
5.3.5 潔凈室（區(qū)）外窗設(shè)計應(yīng)符合下列要求:
1 當潔凈室（區(qū)）和人員凈化用室設(shè)置外窗時，應(yīng)采用雙層玻璃固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性。
2 靠潔凈室室內(nèi)一側(cè)窗不宜設(shè)窗臺。
5.3.6 潔凈室內(nèi)的密閉門應(yīng)朝空氣潔凈度較高的房間開啟，并加設(shè)閉門器，無窗潔凈室的密閉門上宜設(shè)觀察窗。
5.3.7 潔凈室門窗、墻壁、頂棚等的設(shè)計應(yīng)符合下列要求:
1 潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙，均應(yīng)采取可靠的密閉措施。
2 當采用輕質(zhì)構(gòu)造頂棚做技術(shù)夾層時，夾層內(nèi)宜設(shè)檢修通道。
3 潔凈室窗宜與內(nèi)墻面齊平，不宜設(shè)窗臺。
5.3.8 潔凈室內(nèi)的色彩宜淡雅柔和。室內(nèi)各表面材料的光反射系數(shù):頂棚和墻面宜為0.6～0.8，地面宜為0.15～0.35。
5.3.9 對8級以上的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。
5.3.10 設(shè)計選用的裝修材料的燃燒性能必須符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》（GB 50222）的規(guī)定。
6 空氣凈化
6.1 一般規(guī)定
6.1.1 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈要求。
6.1.2 根據(jù)空氣潔凈度等級的不同要求，選用不同的氣流流型。
6.1.3 下列情況之一者，其凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置:
1 運行班次或使用時間不同。
2 生產(chǎn)工藝中某工序散發(fā)的物質(zhì)或氣體對其它工序的產(chǎn)品質(zhì)量有影響。
3 對溫、濕度控制要求差別大。
4 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)。
6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍應(yīng)符合表6.1.4的規(guī)定。

6.1.5 潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值:
1 補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。
2 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
6.1.6 潔凈區(qū)的清掃:一般情況下宜采用移動式高效真空吸塵器；對于1級到5級的單向流潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷，吸塵口應(yīng)加蓋封堵。
6.2 潔凈室壓差控制
6.2.1 潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求決定維持正壓差或負壓差。
6.2.2 不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差，應(yīng)不小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差，應(yīng)不小于10Pa。
6.2.3 潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。
6.2.4 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉應(yīng)聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序為先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機；關(guān)閉時聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。
負壓潔凈室聯(lián)鎖程序與上述正壓潔凈室相反。
6.2.5 非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進行凈化空調(diào)處理。
6.3 氣流流型和送風(fēng)量
6.3.1 氣流流型的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求:
1 氣流流型應(yīng)滿足空氣潔凈度等級的要求?？諝鉂崈舳鹊燃壱鬄?～4級時，應(yīng)采用垂直單向流；空氣潔凈度要求為5級時，應(yīng)采用垂直單向流或水平單向流。
2 空氣潔凈度要求為6～9級時，宜采用非單向流。
3 潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻。
4 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。
6.3.2 潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取下列三項中的最大值:
1 為保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量。
2 根據(jù)熱、濕負荷計算確定的送風(fēng)量。
3 向潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。
6.3.3 為保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量，按表6.3.3中有關(guān)數(shù)據(jù)進行計算或按室內(nèi)發(fā)塵量進行計算。

6.3.4 潔凈室內(nèi)各種設(shè)施的布置，應(yīng)考慮對氣流流型和空氣潔凈度的影響，并應(yīng)符合下列要求:
1 單向流潔凈室內(nèi)不宜布置潔凈工作臺；非單向流潔凈室的回風(fēng)口宜遠離潔凈工作臺。
2 需排風(fēng)的工藝設(shè)備宜布置在潔凈室下風(fēng)側(cè)。
3 有發(fā)熱設(shè)備時，應(yīng)采取措施減少熱氣流對氣流分布的影響。
4 余壓閥宜布置在潔凈氣流的下風(fēng)側(cè)。
6.4 空氣凈化處理
6.4.1 空氣過濾器的選用、布置和安裝方式應(yīng)符合下列要求:
1 空氣凈化處理應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級合理選用空氣過濾器。
2 空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量。
3 中效（高中效）空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)系統(tǒng)的正壓段。
4 亞高效和高效空氣過濾器作為末端過濾器時宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；超高效過濾器必須設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端。
5 設(shè)置在同一潔凈區(qū)內(nèi)的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率宜相近。
6 高效（亞高效、超高效）空氣過濾器安裝前應(yīng)進行檢漏，安裝應(yīng)嚴密，安裝方式應(yīng)簡便、可靠，易于檢漏和更換。
6.4.2 對較大型的潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進行空氣凈化處理。
6.4.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng)。
6.4.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機宜采取變頻措施。
6.4.5 凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加熱器、電加濕器應(yīng)采取安全保護措施。寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。
6.5 采暖通風(fēng)、防排煙
6.5.1 對8級以上的潔凈室不應(yīng)采用散熱器采暖。
6.5.2 潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置。
6.5.3 在下列情況下，局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)單獨設(shè)置:
1 排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性和發(fā)生交叉污染。
2 排風(fēng)介質(zhì)中有毒與無毒，毒性相差很大。
3 易燃、易爆與一般排風(fēng)。
6.5.4 潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計，應(yīng)采取下列措施:
1 防止室外氣流倒灌。
2 含有易燃、易爆局部排風(fēng)系統(tǒng)的防火防爆。
3 排風(fēng)介質(zhì)中有害物濃度及排放量超過國家或地區(qū)有害物排放濃度及排放量規(guī)定時，應(yīng)進行無害化處理。
4 對含有水蒸氣和凝結(jié)性物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)坡度及排放口。
6.5.5 換鞋、存外衣、盥洗、廁所和淋浴等生產(chǎn)輔助房間，應(yīng)采取通風(fēng)措施，其室內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于潔凈區(qū)。
6.5.6 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置事故排風(fēng)系統(tǒng)。事故排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)自動和手動控制開關(guān)，手動控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室及潔凈室外便于操作的地點。
6.5.7 潔凈廠房疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機械防排煙設(shè)施。潔凈室機械防排煙系統(tǒng)宜與通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)合用，但必須采取可靠的防火安全措施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（GBJ 16）的要求。
6.6 風(fēng)管和附件
6.6.1 凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置電動密閉閥、調(diào)節(jié)閥；送、回風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥；潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或電動密閉閥等。
6.6.2 下列情況之一的通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)設(shè)防火閥:
1 風(fēng)管穿越防火分區(qū)的隔墻處，穿越變形縫的防火隔墻的兩側(cè)。
2 風(fēng)管穿越通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)機房的隔墻和樓板處。
3 垂直風(fēng)管與每層水平風(fēng)管交接的水平管段上。
6.6.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)風(fēng)閥、高效空氣過濾器的保護網(wǎng)、孔板、擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求及其所處的空氣環(huán)境條件確定。
潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥、止回閥、電動密閉閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定。
6.6.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)總管及排風(fēng)系統(tǒng)的吸風(fēng)總管段上，應(yīng)采取消聲措施，滿足潔凈室內(nèi)噪聲要求。
凈化空調(diào)系統(tǒng)的排風(fēng)管或局部排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)管段上，應(yīng)采取消聲措施，滿足室外環(huán)境區(qū)域噪聲標準的要求。
6.6.5 在空氣過濾器的前后，應(yīng)設(shè)置測壓孔或壓差計。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上，宜設(shè)置風(fēng)量測定孔。
6.6.6 風(fēng)管、附件及輔助材料的選擇應(yīng)符合下列要求:
1 凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料。
2 排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，應(yīng)采用耐腐蝕的難燃材料。
3 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料，其耐火極限應(yīng)大于0.5h。
4 附件、保溫材料、消聲材料和粘結(jié)劑等均采用不燃材料或難燃材料。
7 給水排水
7.1 一般規(guī)定
7.1.1 潔凈廠房內(nèi)的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，也可埋地敷設(shè)。潔凈室內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無關(guān)的管道不宜穿過。
7.1.2 管道外表面可能結(jié)露時，應(yīng)采取防護措施。防結(jié)露層外表面應(yīng)光滑易于清洗，并不得對潔凈室造成污染。
7.1.3 管道穿過潔凈室墻壁、樓板和頂棚時應(yīng)設(shè)套管，管道和套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。無法設(shè)置套管的部位也應(yīng)采取有效的密封措施。
7.2 給水
7.2.1 潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、生活和消防等各項用水對水質(zhì)、水溫、水壓和水量的要求分別設(shè)置。管道的設(shè)計應(yīng)留有余量，以適應(yīng)工藝變動。
7.2.2 水質(zhì)要求較高的純水供水管道應(yīng)采用循環(huán)供水方式，并應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 循環(huán)附加水量為使用水量的30%～100%。
2 干管流速為1.5～3m/s。
3 不循環(huán)的支管長度應(yīng)盡量短，其長度不大于6倍管徑。
4 供水干管上應(yīng)設(shè)有清洗口。
5 管道系統(tǒng)各組成部分必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象。
7.2.3 管材選擇應(yīng)符合下列要求:
1 純水管道的管材必須滿足生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，根據(jù)需要可選擇不銹鋼管和聚氯乙烯（UPVC、CL-PVC）、聚丙烯（PP）、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯（ABS）、聚偏氟乙烯（PVDF）等管材。
2 工藝設(shè)備用循環(huán)冷卻給水和回水管可采用鍍鋅鋼管、不銹鋼管或工程塑料管。
3 管道配件應(yīng)采用與管道相應(yīng)的材料。
7.2.4 純水和冷卻水管道應(yīng)預(yù)留清洗口。
7.2.5 潔凈廠房周圍應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施。
7.3 排水
7.3.1 排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、濃度和水量等特點確定。有害廢水經(jīng)廢水處理，達到國家排放標準后排出。
7.3.2 潔凈室內(nèi)的排水設(shè)備以及與重力回水管道相連接的設(shè)備，必須在其排出口以下部位設(shè)水封裝置，排水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有完善的透氣裝置。
7.3.3 潔凈室內(nèi)的地漏等排水設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:
1 空氣潔凈度等級高于6級的潔凈室內(nèi)不應(yīng)設(shè)地漏。
2 6級潔凈室內(nèi)不宜設(shè)地漏，如必須設(shè)置時應(yīng)采用專用地漏。
3 等于或高于7級的潔凈室內(nèi)不宜設(shè)排水溝。
4 等于或高于7級的潔凈室內(nèi)不應(yīng)穿過排水立管；其它潔凈室內(nèi)穿過排水立管時不應(yīng)設(shè)檢查口。
7.3.4 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)采用不易積存污物、易于清洗的衛(wèi)生設(shè)備、管道、管架及其附件。
7.3.5 潔凈廠房宜設(shè)置消防排水設(shè)施。
7.4 消防給水和滅火設(shè)備
7.4.1 潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)，其設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的火災(zāi)危險性、建筑物耐火等級以及建筑物的體積等因素確定。
7.4.2 潔凈廠房的消防給水和固定滅火設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（GBJ 16）的要求。
7.4.3 潔凈室的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓。消火栓的用水量不小于10L/s，同時使用水槍數(shù)不少于2支，水槍充實水柱長度不小于10m，每只水槍的出水量應(yīng)按不小于5L/s計算。
7.4.4 潔凈廠房內(nèi)各場所必須配置滅火器，其設(shè)計應(yīng)滿足現(xiàn)行國家標準《建筑滅火器配置規(guī)范》（GBJ 140）的要求。
7.4.5 潔凈廠房內(nèi)設(shè)有貴重設(shè)備、儀器的房間設(shè)置固定滅火設(shè)施時，除應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（GBJ 16）的規(guī)定外，還應(yīng)符合下列要求:
1 當設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)時，宜采用預(yù)作用式自動噴水滅火系統(tǒng)。
2 當設(shè)置氣體滅火系統(tǒng)時，不應(yīng)采用鹵代烷1211以及能導(dǎo)致人員窒息和對保護對象產(chǎn)生二次損害的滅火劑。
8 氣體管道
8.1 一般規(guī)定
8.1.1 氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，當與水、電管線共架時，應(yīng)設(shè)在其上部。與本房間無關(guān)的管道不應(yīng)穿過。
8.1.2 潔凈室的氣體管道及管架宜設(shè)裝飾面板。當有可燃氣體管道時，應(yīng)敷設(shè)在裝飾面板外側(cè)，水平敷設(shè)時應(yīng)在其頂部。
8.1.3 高純氣體管道設(shè)計應(yīng)符合下列要求:
1 按氣體流量、壓力或生產(chǎn)工藝需要確定管徑，氣體管道最小管徑不小于Φ6×1mm。
2 管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。
3 不應(yīng)出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死角。
4 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必要的吹除口和取樣口。
8.1.4 氣體管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。
8.1.5 可燃氣體和氧氣管道的末端或最高點應(yīng)設(shè)放散管。放散管引至室外應(yīng)高出屋脊1m，并應(yīng)有防雨、防雜物侵入的措施?？扇細怏w還應(yīng)符合本規(guī)范第8.4.2條的要求。
8.1.6 氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對氣體純度要求進行選擇和配置。氣體終端凈化裝置宜設(shè)在鄰近用氣點處。
8.1.7 氣體過濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對氣體潔凈度要求進行選擇和配置。高純氣體終端過濾器應(yīng)設(shè)在靠近用氣點處。
8.1.8 進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設(shè)在氣體入口室。
8.1.9 甲類火災(zāi)危險生產(chǎn)用氣體入口室的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 毗連布置時，宜設(shè)在單層廠房靠外墻或多層廠房的最上一層靠外墻處。
2 應(yīng)有良好的通風(fēng)。
3 泄壓面積和電氣防爆應(yīng)按現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（GBJ 16）、《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》（GB 50058）的規(guī)定執(zhí)行。
8.2 管道材料和閥門
8.2.1 氣體管道材料和閥門的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對氣體純度、露點的要求和使用特點，并按氣體性質(zhì)，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。
8.2.2 高純氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，按下列規(guī)定選用:
1 氣體純度大于或等于99.999%，露點低于-76℃，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼管（316L）或內(nèi)壁電拋光的0Cr18Ni9不銹鋼管（304）。閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥。
2 氣體純度大于或等于99.99%，露點低于-60℃，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的0Cr18Ni9不銹鋼管（304）。除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其它氣體管道宜采用球閥。
8.2.3 干燥壓縮空氣露點低于-70℃，應(yīng)采用內(nèi)壁拋光的0Cr18Ni9不銹鋼管（304）；露點低于-40℃，宜采用0Cr18Ni9不銹鋼管（304）或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。
8.2.4 閥門材質(zhì)宜與相連接管道材質(zhì)相適應(yīng)。
8.3 管道連接
8.3.1 氣體管道連接，應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 管道連接應(yīng)采用焊接，但熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。螺紋連接的密封材料應(yīng)符合本規(guī)范第8.3.3條的要求。
2 不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對接焊或承插焊連接，但高純氣體管道宜采用內(nèi)壁無斑痕的對接焊。
8.3.2 管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。
8.3.3 管道與閥門的連接，應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 高純氣體管道與閥門連接的密封材料，按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求宜采用金屬墊或雙卡套。
2 螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)采用聚四氟乙烯。
8.4 安全技術(shù)
8.4.1 下列部位應(yīng)設(shè)可燃氣體報警裝置和事故排風(fēng)裝置，報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機聯(lián)鎖:
1 甲類火災(zāi)危險生產(chǎn)的氣體入口室。
2 管廊，上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)有可燃氣體管道的易積聚處。
3 潔凈室內(nèi)使用可燃氣體處。
8.4.2 可燃氣體管道應(yīng)設(shè)下列安全技術(shù)措施:
1 接至用氣設(shè)備的支管和放散管，應(yīng)設(shè)置阻火器。 
2 引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)防雷保護設(shè)施。
3 應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
8.4.3 氧氣管道應(yīng)設(shè)下列安全技術(shù)措施:
1 管道及其閥門、附件應(yīng)經(jīng)嚴格脫脂處理。
2 應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
8.4.4 氣體管道應(yīng)按不同介質(zhì)設(shè)明顯的標識。
8.4.5 各種氣瓶庫應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)，但必須采取不積塵和易于清潔的措施。
9 電氣
9.1 配電
9.1.1 潔凈廠房低壓配電電壓應(yīng)采用220/380V。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地的型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。
9.1.2 潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求應(yīng)根據(jù)現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》（GB 50052）和生產(chǎn)工藝要求確定。主要生產(chǎn)工藝設(shè)備由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電，有特殊要求的工作電源宜設(shè)置不間斷電源（UPS）。凈化空調(diào)系統(tǒng)用電負荷、照明負荷應(yīng)由變電所專線供電。
9.1.3 潔凈廠房的消防用電設(shè)備的供配電設(shè)計應(yīng)按現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（GBJ 16）規(guī)定執(zhí)行。
9.1.4 電源進線（不包括消防用電）應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并宜設(shè)在潔凈區(qū)外便于管理的地點。
9.1.5 潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型暗裝設(shè)備，不宜設(shè)置大型落地安裝的配電設(shè)備。
9.1.6 潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷，穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈區(qū)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。
9.2 照明
9.2.1 潔凈室內(nèi)照明光源，宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達不到設(shè)計要求時，也可采用其它形式光源。
9.2.2 潔凈室內(nèi)一般照明燈具為吸頂明裝。如燈具嵌入頂棚暗裝時，其安裝縫隙應(yīng)有可靠的密封措施。
潔凈室內(nèi)不應(yīng)采用格柵型燈具。
9.2.3 無采光窗潔凈區(qū)工作面上的照度值，不應(yīng)低于表9.2.3規(guī)定的數(shù)值。

9.2.4 無采光窗潔凈區(qū)混合照明中的一般照明，其照度值應(yīng)按各視覺等級相應(yīng)混合照度值的10%～15%確定，并不低于200lx。
9.2.5 潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。
9.2.6 潔凈廠房備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:
1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置備用照明。
2 備用照明宜作為正常照明的一部分。
3 備用照明應(yīng)滿足所需場所或部位進行必要活動和操作的最低照度。
9.2.7 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)按現(xiàn)行國家標準設(shè)置疏散標志。在專用消防口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。
9.3 通信
9.3.1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置與廠房內(nèi)外聯(lián)系的通信裝置。潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)區(qū)與其它工段的聯(lián)系，宜設(shè)生產(chǎn)對講電話。
9.3.2 潔凈廠房根據(jù)生產(chǎn)管理和生產(chǎn)工藝特殊需要，宜設(shè)置閉路電視監(jiān)視系統(tǒng)。
9.3.3 潔凈廠房的生產(chǎn)區(qū)（包括技術(shù)夾層）、機房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測器。潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)及走廊應(yīng)設(shè)置手動火災(zāi)報警按鈕。
9.3.4 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置消防值班室或控制室，其位置不應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)內(nèi)。消防控制室應(yīng)設(shè)置消防專用電話總機。
9.3.5 潔凈廠房的消防控制設(shè)備及線路連接應(yīng)可靠?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（GBJ 16）及《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》（GB 50116）的規(guī)定。潔凈區(qū)內(nèi)火災(zāi)報警應(yīng)進行核實，并應(yīng)進行如下消防聯(lián)動控制:
1 啟動室內(nèi)消防水泵，接收其反饋信號。除自動控制外，還應(yīng)在消防控制室設(shè)置手動直接控制裝置。
2 關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火閥，停止相應(yīng)的空調(diào)循環(huán)風(fēng)機、排風(fēng)機及新風(fēng)機，并接收其反饋信號。
3 關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火門、防火卷簾門。
4 控制備用應(yīng)急照明燈和疏散標志燈燃亮。
5 在消防控制室或低壓配電室，應(yīng)手動切斷有關(guān)部位的非消防電源。
6 啟動火災(zāi)應(yīng)急擴音機，進行人工或自動播音。
7 控制電梯降至首層，并接收其反饋信號。
9.3.6 潔凈廠房中易燃、易爆氣體的貯存、使用場所，管道入口室及管道閥門等易泄漏的地方，應(yīng)設(shè)可燃氣體探測器。有毒氣體的貯存、使用場所應(yīng)設(shè)氣體檢測器。報警信號應(yīng)聯(lián)動啟動或手動啟動相應(yīng)的事故排風(fēng)機。并應(yīng)將報警信號送至消防控制室。
9.4 自動控制
9.4.1 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)等的自動監(jiān)控裝置。
9.4.2 潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)機宜選用變頻調(diào)速控制。
9.4.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)電加熱器，應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電保護。若采用電加濕器時應(yīng)設(shè)置無水保護。寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。
9.5 靜電防護及接地
9.5.1 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)要求設(shè)靜電防護措施。
9.5.2 潔凈室內(nèi)的防靜電地面，其性能應(yīng)符合下列要求:
1 地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)保持長時間性能穩(wěn)定。
2 地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應(yīng)為1.0×105～1.0×1012Ω/□或體積電阻率為1.0×104～1.0×1011Ω·cm。
3 地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對地泄放電阻值應(yīng)為1.0×105～1.0×109Ω。
9.5.3 潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)，應(yīng)采取防靜電接地措施。
9.5.4 潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險場所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》（GB 50058）的有關(guān)規(guī)定。
9.5.5 防靜電接地系統(tǒng)，應(yīng)分別不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格，或閉合的接地銅排環(huán)。銅排截面不應(yīng)小于100mm2，防靜電接地引線應(yīng)從等電位的接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)上就近接地連接。接地引線應(yīng)使用多股銅線，導(dǎo)線截面不應(yīng)小于1.5mm2。
防靜電接地系統(tǒng)在接入大地前應(yīng)設(shè)置等電位的防靜電接地基準板，從基準板上引出接地主干線，其銅導(dǎo)體截面不應(yīng)小于95mm2，并應(yīng)采用絕緣屏蔽電纜。接地主干線應(yīng)與設(shè)置在防靜電區(qū)域內(nèi)的接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)連接。在防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω。 
9.5.6 潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。直流工作接地的基準電位應(yīng)取自總等位銅排，接地導(dǎo)線與銅排做單點連接。主干線截面不應(yīng)小于95mm2，支干線截面不應(yīng)小于35mm2。
9.5.7 接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》（GB 50057）的規(guī)定。